微纳公共平台是开放共享公共技术服务平台，旨在为校区乃至全校师生提供先进微纳工艺的国际化教学空间，为校区交叉科研和国际化合作提供微纳加工的有力支撑，为地方企业提供产业化开发的公共服务项目包含百级洁净区、千级洁净区、万级洁净区等净化实验区域，目前已拥有先进的微纳加工及测试设备，为半导体微纳加工和表征提供有力保障。